氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用普瑞公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,不同底气的样品的进样量。
项目 |
指标 |
|||
高纯氪 |
纯氪 |
|||
一等品 |
合格品 |
|||
氪气(Kr)(体积分数)/10-2 |
≥ |
99.999 |
99.995 |
99.99 |
氮(N2)(体积分数)(N2)/10-6 |
≤ |
2 |
8 |
20 |
氧(O2)+氩(Ar)(体积分数)/10-6 |
≤ |
1.5 |
5 |
5 |
氢(H2)(体积分数)/10-6 |
≤ |
0.5 |
1 |
2 |
一氧化碳(CO)(体积分数)/10-6 |
≤ |
0.3 |
0.4 |
1 |
二氧化碳(CO2)(体积分数)/10-6 |
≤ |
0.4 |
0.8 |
1 |
甲烷(CH4)(体积分数)/10-6 |
≤ |
0.3 |
0.8 |
1 |
水分(H2O)(体积分数)/10-6 |
≤ |
2 |
3 |
5 |
氙气(Xe)(体积分数)/10-6 |
≤ |
2 |
20 |
50 |
氟化物(CF4)(体积分数)/10-6 |
≤ |
1 |
10 |
15 |