GC-9280型高纯度气体分析氦离子化气相色谱仪适用于高纯氢、氧、氩、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等气体中痕量杂质的检测,仪器配备高灵敏度的氦离子化(PDHID)检测器,采用中心切割与反吹技术,配置具有吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气纯化器,通过无死体积取样或在线进样方式,一次性完成上述高纯气体中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2等常见杂质或C1-C4等碳氢化合物的检测,检测限达ppb级,重复性RSD≤1%。
适用标准:
GB/T8979-2008《纯氮、高纯氮和超高氮>
GB/T14599-2008《纯氧、高纯氧和超纯氧>
GB/T4844-2011《纯氨、高纯氨和超纯氨》
GB/T4842-2006《氩》
GB/T3634.2-2011《氢气第2部分纯:纯氢、高纯氢和超纯氢》
GB/T17873-2014《纯氖和高纯氖》
GB/T5829-2006《氪气》
GB/T5828-2006《氙气》
HG/T3633-1999《纯甲烷》
GB/T23939-2009《高纯二氧化碳》
GB/T16942-2009《电子工业用气体 氢》
GB/T16943-2009《电子工业用气体 氨》
GB/T16944-2009《电子工业用气体 氮》
GB/T16945-2009《电子工业用气体 氩》
GB/T14604-2009《电子工业用气体 氧》
GB/T14600-2009《电子工业用气体 氧化氩氮>
GB/T14601-2009《电子工业用气体 高纯氨》
GB/T14602-2014《电子工业用气体 氯化氢》
GB/T14603-2009《电子工业用气体 三氟化硼》
GB/T18994-2014《电子工业用气体 高纯氯》
GB/T14851-2009《电子工业用气体 磷化氢》
GB/T17874-2010《电子工业用气体 三氯化硼》
GB/T15909-2009《电子工业用气体 硅烷》
氦离子化气相色谱仪技术参数:
氨离子化检测器(PDHI)参数:
放电模式:脉冲放电
基线噪声:≤0.1mv
基线漂移:50.2mv/30min
-12检测限:S1.0X10g/ml
线性度<士0.1%
载气纯化器:
可纯化气体:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn最大操作压力:1000Psi去除气体:H2、02、N2、CO、CO2CH4、H20、NO、NH3、CF4等残留浓度:≤10ppb
重现性0.06%
氦离子化气相色谱仪检测限:
检测限(ppb):
一般杂质 |
||||||
杂货种类 |
H2 |
O2(Ar) |
N2 |
CH4 |
CO |
CO2 |
检测限 |
5 |
10 |
10 |
5 |
25 |
5 |
碳氢化合物 |
|||||||
杂质种类 |
C2H4 |
C2H6 |
C3H6 |
C3H8 |
C4H8 |
C4H10 |
iC4H10 |
检测限 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
电源:220V±22V,50Hz,功率≥2kW
重量:~48kg
尺寸:宽655mm×高500mm×深480mm
6、其他参数:尺寸、重量、电源:
重现性:0.06%。
线性度:<±0.1%。
积分灵敏度:1μv•sec
动态范围:106
采样频率:zui高20次/秒
输入电平范围:-5mv至+1v
分辨率:±1uv
高精度:24位的高精度A/D
通讯接口:RS232/USB接口
5、工作站性能:
残留浓度:≤10ppb
去除气体:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
zui大操作压力:1000Psi
可纯化气体:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
4、载气纯化器:
检测限:≤1.0×10-10g/ml
基线漂移:≤0.5mv/30min
基线噪声:≤0.1mv
放电模式:脉冲放电
3、氦离子化检测器(PDD):
降温速度:7分钟以内(350℃到50℃)
升温速率:1℃~40℃
程序升温:八阶
温控数量:八路
检测器:室温上8℃-400℃ 精度±0.1℃
进样器:室温上8℃-400℃ 精度±0.1℃
柱 箱:室温上8℃-400℃ 精度±0.1℃
2、温控指标:
三、系统配置:
(1)GC-9280型气相色谱仪
(2)氦离子化检测器(PDHID)
(3)中心切割系统
(4)多柱箱系统
(5)氦气纯化器
(6)标准气体
(7)色谱柱
(8)氧吸附与还原系统
(9)载气专用减压阀
(10)无死体积专用取样阀
(11)专用数据工作站
四、分析谱图:
1、高纯氢气的分析
2、高纯氧气的分析
3、高纯氩气的分析
4、高纯氦气的分析